ASML 4022.636.32221

ASML 4022.636.32221阿斯麦

ASML 4022.636.32221阿斯麦简介及参数详解

ASML 4022.636.32221是ASML公司研发的一款精密光学组件，作为关键部件广泛应用于半导体制造设备中。宁德润恒自动化作为ASML的授权供应商，专注于为该型号产品提供稳定可靠的供应及技术支持。以下是该产品的详细介绍及核心参数：

一、产品概述

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制造商：ASML（荷兰半导体设备巨头）

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型号：4022.636.32221

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定位：光学模块，用于极紫外（EUV）光刻机的核心系统

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功能：实现纳米级光刻工艺中的光束调控与定位，保障晶圆制造过程中的高分辨率成像

二、核心参数

1. 

光学性能

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分辨率：支持≤13nm工艺节点（满足先进芯片制造需求）

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波长范围：13.5nm（EUV光源）

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透过率：≥98%（优化光能利用率）

2. 

机械性能

○ 

尺寸：约320mm×240mm×150mm（具体依配置调整）

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重量：约15kg（轻量化设计）

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重复定位精度：≤0.5μm（保障设备长期稳定运行）

3. 

电气特性

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工作电压：24VDC±5%

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功耗：≤50W（低能耗设计）

○ 

通讯接口：EtherCAT/CANopen（兼容主流工业自动化协议）

4. 

环境适应性

○ 

工作温度：20℃±2℃（恒温环境）

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湿度要求：≤45%RH（避免光学元件结露）

○ 

洁净度等级：ISO Class 3（适配半导体无尘车间）

三、技术优势

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：采用ASML专利的EUV光学技术，确保纳米级制程的成像质量

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高稳定性：内置多重传感器实时监测运行状态，配合闭环控制系统实现亚微米级重复精度

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低维护需求：模块化设计便于快速更换与维护，延长设备稼动时间

四、应用领域

该组件主要应用于：

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EUV光刻机：作为核心光学部件，助力7nm及以下制程芯片的量产

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半导体晶圆制造：支持逻辑芯片、存储芯片等加工场景

五、宁德润恒自动化服务

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供应保障：长期库存+快速交付，缩短客户采购周期

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技术支持：提供安装调试、故障诊断及备件升级等全生命周期服务

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：100%原厂正品，享受ASML官方质保

通过以上信息，宁德润恒自动化致力于以ASML 4022.636.32221为核心，为半导体产业客户提供、稳定的设备支持，助力中国芯片制造迈向更与产能。

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