ASML 4022.656.20861插入式套装

ASML 4022.656.20861插入式套装

ASML 4022.656.20861插入式套装插入式套装简介及参数

一、产品概述ASML 4022.656.20861插入式套装由宁德润恒自动化供应，是ASML光刻机（DUV型号）的核心组件之一。该套装主要用于光刻机内部的光学对准与传输系统，确保晶圆在曝光过程中的定位，适用于半导体晶圆制造工艺中的关键环节。

二、技术参数

1. 

型号：ASML 4022.656.20861

2. 

尺寸：约 450mm（长）× 320mm（宽）× 150mm（高）（具体以实物为准）

3. 

重量：约 15kg

4. 

材质：铝合金框架+光学玻璃元件

5. 

工作温度：20℃±2℃

6. 

对准精度：≤±0.5μm（X/Y轴）

7. 

兼容性：适用于ASML DUV光刻机TWINSCAN系列（具体型号请联系技术支持确认）

8. 

接口类型：定制化电气接口，支持快速插拔

三、产品优势

1. 

：采用先进的光学对准技术，确保晶圆曝光时的微米级定位精度。

2. 

稳定性：经过严格环境测试，适用于洁净室（Class 10）的严苛生产环境。

3. 

模块化设计：插入式结构便于快速更换与维护，降低设备停机时间。

4. 

长寿命：关键部件采用耐磨材料，使用寿命≥5000次循环（标准工况下）。

四、应用领域该套装主要应用于半导体晶圆制造中的光刻工艺，包括逻辑芯片、存储芯片（如DRAM/NAND）及先进封装（如Fan-Out）等领域，确保芯片制造过程中的图形转移。

五、注意事项

1. 

安装时需使用ASML原厂工具，避免人为损伤光学元件。

2. 

运输需采用防静电包装，并避免机械冲击。

3. 

如需维修或校准，建议联系宁德润恒自动化技术支持团队。

六、供货与服务宁德润恒自动化提供：

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原厂正品保障

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2-4周供货周期（视库存情况）

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专业技术支持与安装指导

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12个月质保期

结语ASML 4022.656.20861插入式套装作为光刻机关键组件，其与稳定性为半导体制造提供了可靠保障。宁德润恒自动化将持续为客户提供的产品与服务，助力芯片生产技术的迭代升级。

ASML 4022.656.20861插入式套装