ASML 4022.487.392

ASML 4022.487.392阿斯麦

ASML 4022.487.392阿斯麦核心部件简介及参数解析

作为的半导体设备供应商，ASML（阿斯麦）的光刻系统核心组件——4022.487.392 在先进芯片制造中扮演着关键角色。宁德润恒自动化凭借与ASML的紧密合作，现为中国市场提供该核心部件的供应与技术支持。本文将对该部件的技术参数及应用场景进行专业解析。

一、产品概述

型号：ASML 4022.487.392类别：光刻机核心光学控制模块功能： 该模块是ASML极紫外（EUV）光刻机的重要组成部分，主要用于光源稳定控制与光束路径优化，确保芯片制造过程中的纳米级精度。其高稳定性与低误差特性，是7nm及以下制程节点的关键技术保障。

二、技术规格

1. 

光学性能

○ 

波长范围：13.5nm（EUV光源）

○ 

光束稳定性：±0.5nm（典型值）

○ 

反射率：≥99.8%（EUV波段）

2. 

机械参数

○ 

尺寸：650mm×420mm×300mm（L×W×H）

○ 

重量：约85kg

○ 

工作温度：20℃±1℃（恒温控制）

3. 

电气特性

○ 

供电电压：DC 48V±5%

○ 

功耗：≤350W

○ 

控制接口：ASML数字通信协议（需配套软件支持）

4. 

精度指标

○ 

定位精度：±0.5μm（XYZ三轴）

○ 

重复精度：±0.2μm

三、应用场景

该模块主要应用于：

● 

EUV光刻机光源系统：稳定极紫外光源输出，降低干涉误差

● 

光束整形与校准：优化光路路径，提升成像分辨率

● 

先进制程节点：适用于7nm、5nm及3nm芯片制造工艺

四、宁德润恒自动化服务优势

1. 

正品保障：ASML原厂授权渠道，100%正品货源

2. 

技术支持：提供设备安装调试、参数校准及维护培训

3. 

快速交付：库存调配，平均交付周期≤4周

4. 

售后响应：24小时技术热线，48小时内现场支持（中国大陆）

结语

ASML 4022.487.392模块作为EUV光刻机的“光学大脑”，其纳米级精度与稳定性为芯片制造提供了核心保障。宁德润恒自动化将持续为中国半导体产业提供该关键部件的供应及技术服务，助力国产芯片工艺迈向更高水平。

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