ASML 真空调节器 4022.639.82381

ASML 真空调节器 4022.639.82381

ASML 真空调节器 4022.639.82381产品简介

宁德润恒自动化专注于半导体设备核心部件供应，现提供原装ASML真空调节器4022.639.82381，专为光刻机真空控制系统设计，确保设备运行稳定性与工艺精度。该真空调节器具备压力调节能力，广泛应用于晶圆制造、先进封装等半导体生产环节。

核心参数与技术特性

1. 

压力调节范围

○ 

工作气压：0.1~10 Torr（支持定制化压力区间）

○ 

调节精度：±0.01 Torr，满足纳米级工艺要求

2. 

流体控制性能

○ 

大流量：30 slm（标准状态下）

○ 

响应时间：≤1ms，实现快速压力稳定

3. 

接口与兼容性

○ 

电气接口：RS-485通讯协议，支持SECS/GEM半导体设备标准

○ 

机械接口：DN16 ISO-KF法兰，兼容主流光刻机真空系统

4. 

环境适应性

○ 

工作温度：-20℃~60℃

○ 

防护等级：IP65，抗腐蚀设计，适用于洁净室环境

产品优势

● 

稳定控制：内置PID算法与闭环反馈系统，有效抑制压力波动，保障光刻工艺一致性。

● 

长寿命设计：采用进口陶瓷密封件与不锈钢阀体，耐受百万次循环测试，降低设备维护成本。

● 

快速交付能力：宁德润恒自动化拥有ASML备件战略库存，常规型号可实现7-15天交货。

应用领域

● 

适用于ASML：TWINSCAN NXT:1950i/2050i/2100i光刻机

● 

兼容设备：真空腔体压力控制、晶圆传输模块、曝光系统

结语

ASML真空调节器4022.639.82381是半导体制造的关键部件，其与稳定性为先进制程保驾护航。宁德润恒自动化依托原厂渠道与技术服务团队，为客户提供从选型咨询到安装调试的全流程支持，助力客户提升设备稼动率与产能效率。

ASML 真空调节器 4022.639.82381